- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1983 nr 4(44)
Epitaksja krzemu. Kierunki rozwoju
Epitaksja krzemu. Kierunki rozwoju = Silicon epitaxy. Trends - Autorzy:
- Nossarzewska-Orłowska Elżbieta
- Data publikacji:
- 1984
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
silicon epitaxy
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
CVD
VLSI
Electronic - journal - materials
parametry struktur epitaksjalnych
epitaksja krzemu
Elektronika - czasopismo - materiały - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych