- Tytuł:
- Study of hydrogen passivation in SiNx:H films sing Fourier transform infrared and photoluminescence spectroscopy
- Autorzy:
-
Chopra, S.
Gupta, R. P.
Joshi, B. C.
Eranna, G.
Banerjee, S. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
silicon nitride
PECVD
FTIR
photoluminescence
hydrogen passivation - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł