- Tytuł:
- The impact of the light exposure on the morphological properties of selected photoresists
- Autorzy:
-
Sikora, Andrzej
Janus, Paweł
Sierakowski, Andrzej - Data publikacji:
- 2019
- Wydawca:
- Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
- Tematy:
-
photolitography
polymer degradation
atomic force microscopy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki