- Tytuł:
- Overview of etching technologies used for HgCdTe
- Autorzy:
-
Srivastav, V.
Pal, R.
Vyas, H. P. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
wet etching
dry etching
mesa etching
ECR plasma system
etch lag - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł