- Tytuł:
- Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications
- Autorzy:
-
Oleśko, K.
Szymanowski, H.
Gazicki-Lipman, M.
Balcerzak, J.
Szymański, W.
Pawlak, W.
Sobczyk-Guzenda, A. - Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
HMDSN
PECVD
refractive index
chemical structure
adhesion - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł