- Tytuł:
- Numerical (solid) modeling of 3-D intelligent comb drive accelerometer structure - mechanical problems
- Autorzy:
-
Wiak, S.
Smółka, K.
Dems, M.
Komęza, K. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
IMEMS
Inteligentne Mikro-Elektro-Mechaniczne-Systemy
akcelerometr
modelowanie polowe
modelowanie bryłowe
Intelligent MicroElectroMechanicalSystems
accelerometer
field modeling
solid modeling - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł