- Tytuł:
- Thermal analysis of micro-heaters using the 3D-TLM method and COMSOL multiphysics software for MEMS based gas sensor
- Autorzy:
-
Djameleddine, Kheris
Hocine, Rachida - Data publikacji:
- 2023
- Słowa kluczowe:
-
MEMS-based gas sensors
microheater
3D-TLM
COMSOL multiphysics
homogeneous temperature distribution
czujniki gazu
MEMS
mikronagrzewnica
jednorodny rozkład temperatury - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech