- Tytuł:
- Role of RF power on physical properties of RF magnetron sputtered GaN/p-Si(1 0 0) thin film
- Autorzy:
-
Mantarci, Asim
Kundakçi, Mutlu - Data publikacji:
- 2019
- Słowa kluczowe:
-
RF magnetron sputtering
thin film
III-nitride
GaN
semiconductor - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech