- Tytuł:
- Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Stach, S.
Dallaeva, D.
Talu, S.
Kaspar, P.
Tomanek, P.
Giovanzana, S.
Grmela, L. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
aluminum nitride epilayer
atomic force microscopy (AFM)
magnetron sputtering
substrate
surface roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł