- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1985 nr 2(50)
Ograniczenie zjawiska samodomieszkowania w epitaksji krzemu
Ograniczenie zjawiska samodomieszkowania w epitaksji krzemu = Limitation of the autodoping effects a silicon epitaxy - Autorzy:
- Nossarzewska-Orłowska Elżbieta
- Współwytwórcy:
-
Szymkiewicz Andrzej
Sarnecki Jerzy - Data publikacji:
- 1985
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
autodoping
Elektronika - czasopismo - materiały
samodomieszkowanie
Materiały elektroniczne
Electronic materials
epitaksja Si
CVD
Si epitaxy
Electronic - journal - material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka