- Tytuł:
- Symulacja procesów monokrystalizacji materiałów półprzewodnikowych metodą VGF
- Autorzy:
-
Łobodziński, W.
Wesołowski, M.
Wiechowski, J.
Wolf-Łysiak, D.
Orzechowski, Z. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
monokrystalizacja
piec wielostrefowy
modelowanie pól temperatury
crystal growing process
multi-zone furnace
thermal field modeling - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech