- Tytuł:
- Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method
- Autorzy:
-
Nowakowska-Langier, K.
Chodun, R.
Zdunek, K.
Minikayev, R.
Nietubyć, R. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
AlN films
magnetron sputtering method
crystalline structure - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech