- Tytuł:
- Naprężenia własne w monokrystalicznych płytkach krzemowych i ich wpływ na generację defektów krystalograficznych.
- Autorzy:
- Piotrowski, T.
- Data publikacji:
- 1999
- Słowa kluczowe:
-
naprężenia własne
płytka krzemowa
defekty krystalograficzne
generacja defektów
rozkład gęstości defektów krystalograficznych
metoda elastometryczna w podczerwieni
spektroskopia ramanowska
intrinsic stresses
silicon wafer
crystallographic defects
defects generation
crystallographic defects density profile
photoelastic spectroscopy
Raman spectroscopy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł