- Tytuł:
- Zastosowanie metody IPD do syntezy warstw c-AlN
- Autorzy:
-
Chodun, R.
Nowakowska-Langier, K.
Okrasa, S.
Firek, P.
Szmidt, J.
Zdunek, K. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
PA PVD
metoda impulsowo-plazmowa (IPD)
kubiczny AlN
Plasma Assisted Physical Vapour Deposition
Impulse Plasma Deposition
cubic AlN - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł