- Tytuł:
- Analiza właściwości strukturalnych oraz powierzchni cienkiej warstwy mieszaniny tlenków (Ti-Cu) Ox z liniowym gradientem rozkładu pierwiastków
- Autorzy:
-
Kotwica, T.
Domaradzki, J.
Kaczmarek, D. - Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
cienka warstwa
rozpylanie magnetronowe
gradient rozkładu pierwiastków
(Ti-Cu)Ox
thin film
magnetron sputtering
gradient element distribution - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech