- Tytuł:
- Pomiary in-situ jednorodności temperatury i ex-situ grubości osadzonej warstwy w systemie epitaksjalnym AIXTRON CCS 3 x 2’’
- Autorzy:
-
Pokryszka, Piotr
Wośko, Mateusz
Paszkiewicz, Regina - Data publikacji:
- 2019
- Słowa kluczowe:
-
in-situ
ex-situ
heterostruktura AlGaN/GaN
AIIIN
heterostructure AlGaN/GaN - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech