- Tytuł:
- The method of integration of silicon - micromachined sensors and actuators to microreactor made of Foturan(R) glass
- Autorzy:
-
Knapkiewicz, P.
Walczak, R.
Dziuban, J. A. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
microreaction technology
sensors integration
low temperature anodic bonding
FoturanŽ glass and silicon anodic bonding - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł