- Tytuł:
- Electroacoustic Analysis of a Controlled Damping Planar CMOS-MEMS Electrodynamic Microphone
- Autorzy:
-
Tounsi, F.
Mezghani, B.
Rufer, L.
Masmoudi, M. - Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Tematy:
-
MEMS sensor
acoustical model
monolithic electroacoustic microphone
suspended diaphragm
lumped element modeling - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki