- Tytuł:
- Emisja polowa z kompozytowych warstw TiOx + Ti wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego
- Autorzy:
-
Znamirowski, Z.
Posadowski, W. M.
Pleszkun, M.
Tadaszak, K. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
warstwy kompozytowe
rozpylanie magnetronowe targetu
composite layers
magnetron sputtering of Ti target - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech