- Tytuł:
- Wykorzystanie fal plazmowych i techniki C-V do charakteryzacji warstw implantowanych jonami O+6 w krzemie
- Autorzy:
-
Pawlak, M.
Maliński, M. A.
Chrobak, Ł. B.
Shovon, P.
Arne, L. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
metoda PTR
metoda MFCA
krzem
własności optyczne warstw implantowanych
fale plazmowe
PTR technique
MFCA technique
silicon
implanted layers optical properties
plasma waves - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech