- Tytuł:
- Model przetwornika elektromagnetycznego zastosowanego w krzemowym czujniku drgań mechanicznych
- Autorzy:
-
Rybak, M.
Gołębiowski, J. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
MEMS
mikrostruktury krzemowe
drgania mechaniczne
czujniki Halla
MES
silicon microstructures
vibration measurement
Hall sensors
FEM - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech