- Tytuł:
- Control systems in-situ of nitrided layer growth and deposited layer in PVD processes
- Autorzy:
-
Ratajski, J.
Olik, R.
Baranov, A. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
proces azotowania
proces PVD
sterowanie na miejscu
magnetyczny czujnik pomiarowy
współczynnik odbicia
promieniowanie rentgenowskie
model eksperymentalno-teoretyczny
nitriding process
PVD process
in-situ control
magnetic sensor
X-ray reflectivity
theoretical-experimental model - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł