- Tytuł:
- On the microstructure of TiHfOx thin films
- Autorzy:
-
Domaradzki, J.
Borkowska, A.
Kaczmarek, D.
Prociów, L.
Wasielewski, R.
Ciszewski, A. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
multicomponent oxide
thin film
magnetron sputtering
hot target - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech