- Tytuł:
- Correction of the electric resistivity distribution of Si wafers using selective neutron transmutation doping (SNTD) in MARIA nuclear research reactor
- Autorzy:
-
Tarchalski, M.
Kordyasz, A. J.
Pytel, K.
Dorosz, D. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Instytut Chemii i Techniki Jądrowej
- Tematy:
-
silicon wafer
thermal neutron doping
silicon resistivity homogeneity
silicon resistivity heterogeneity
neutron transmutation doping (NTD)
selective neutron transmutation doping (SNTD)
MARIA nuclear research reactor - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł