Temat: płytka implantacja

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Płytka implantacja jonów w niskotemperaturowym azotowaniu jarzeniowym stali szybkotnącej a odporność na zużycie narzędzi azotowanych
Autorzy:: Sokołowska, A.
Beer, P.
Rudnicki, J.
Kurzydłowski, K. J.
Wierzchoń, T.
Wnukowski, E.
Data publikacji:: 2005
Słowa kluczowe:: azotowanie jarzeniowe
HSS18
płytka implantacja
frezowanie
ion nitriding
shallow implantation
milling; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Ultra-płytka implantacja fluoru z plazmy w.cz. jako metoda poprawy właściwości elektro-fizycznych struktur MIS z dielektrykami bramkowymi wytwarzanymi metodą PECVD
Autorzy:: Kalisz, M.
Mroczyński, R.
Beck, R. B.
Data publikacji:: 2011
Słowa kluczowe:: ultra-płytka implantacja
fluor
plazma w.cz.
MOS
PECVD
ultra-shallow implantation
fluorine
RF plasma; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: Wykorzystanie metody Taguchi’ego do optymalizacji procesu ultra-płytkiej implantacji fluoru i azotu z plazmy w. cz.
Autorzy:: Kalisz, M.
Mroczyński, R.
Data publikacji:: 2013
Słowa kluczowe:: ultra-płytka implantacja
RIE
metoda Taguchi
ultra-shallow implantation
reactive ion etchnig
Taguchi method; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 4.

Tytuł:: Modelowanie rozkładu energetycznego jonów w plazmie w. cz. przez dopasowanie teoretycznych profili poimplantacyjnych do profilu uzyskanego z pomiarów SIMS
Autorzy:: Kalisz, M.
Beck, R. B.
Data publikacji:: 2008
Słowa kluczowe:: plazma wysokiej częstotliwości
bardzo płytka implantacja jonów
profile rozkładu fluoru
reaktywne trawienie jonowe
RF plasma
ultra-shallow ion implantation
fluore distribution profiles
ion energy spectrum
reactive ion etching; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Informacja