- Tytuł:
- Epitaxial regrowth of InP/InGaAs heterostructure on patterned, nonplanar substrates
- Autorzy:
-
Kosior, Ł.
Radziewicz, D.
Zborowska-Lindert, I.
Stafiniak, A.
Badura, M.
Ściana, B. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
epitaxy
MOVPE
patterned substrate
wet etching
mask material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech