- Tytuł:
- Synteza bezpostaciowych warstw dielektrycznych metodą CVD o wysokiej przeświecalności
- Autorzy:
-
Kwatera, A.
Sawka, A. - Data publikacji:
- 2000
- Słowa kluczowe:
-
synteza
bezpostaciowa warstwa dielektryczna
przeświecalność materiałów dielektrycznych
CVD
warstwa azotku krzemu
synthesis
transparent dielectric layers
amorphous dielectric layers
silicon nitride layers
phase boundaries - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech