- Tytuł:
- Characterization of porous dielectric films by ellipsometric porosimetry.
- Autorzy:
-
Baklanov, M.R.
Mogilnikov, K.P. - Data publikacji:
- 2000
- Słowa kluczowe:
-
porous dielectric films
porosity
thin films
refractive index
thermal stability
adsorption - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech