- Tytuł:
- Wpływ procesu wygrzewania w atmosferze O₂ i N₂O na właściwości warstwy przejściowej dielektryk/półprzewodnik w kondensatorach MOS AI/SiO₂/4H-SiC
- Autorzy:
-
Król, K.
Kalisz, M.
Sochacki, M.
Szmidt, J. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
dwutlenek krzemu
wygrzewanie
utlenianie wysokotemperaturowe
węglik krzemu
silicon oxide
post-oxidation annealing
high temperature oxidation
silicon carbide - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł