- Tytuł:
- Quantitative characterization of surface topography in scanning electron microscopy.
- Autorzy:
-
Słówko, W.
Drzazga, W.
Klubiński, G. - Data publikacji:
- 2002
- Słowa kluczowe:
-
badania ilościowe
topografia powierzchni
skaningowy mikroskop elektronowy
wielokanałowy układ detekcyjny
kierunkowa detekcja elektronów wtórnych
przetwarzanie uzyskanego sygnału
wysokość
nachylenie
quantitative characterization
surface topography
scanning electron microscopy
multichannel system
directional detection of secondary electrons
processing of the signal
height
side slopes - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł