- Tytuł:
- Zmiana współczynnika rozpylania tarcz Be i C podczas bombardowania niskoenergetycznymi jonami In⁺
- Autorzy:
-
Sielanko, J.
Filiks, J.
Hereć, J. - Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
implatancja niskoenergetyczna
współczynnik rozpylania
symulacja komputerowa
program SATVAL
TRIDYN
Iow energy implatation
sputtering yield
computer simulation
SATVAL - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł