- Tytuł:
- The impact of medium frequency pulsed magnetron discharge power on the single probe Langmuir measurements and resulted plasma parameters
- Autorzy:
-
Wiatrowski, A.
Posadowski, W. M. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
titanium
copper
magnetron sputtering
pulsed magnetron sputtering
medium frequency pulsed magnetron sputtering
langmuir probe measurements
Dora Power Systems - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech