- Tytuł:
- Surface roughness and residual stress evolution in SiNx/SiO2 multilayer coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Tien, Chuen-Lin
Lee, Po-Wei
Lin, Shih-Chin
Lin, Hong-Yi - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
- Tematy:
-
thin film
residual stress
quarter-wave stack
surface roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki