Temat: radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition RF ICP PECVD

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Optimization of radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition process of diamond-like carbon films
Autorzy:: Kijaszek, W.
Oleszkiewicz, W.
Data publikacji:: 2016
Słowa kluczowe:: diamond-like carbon
radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition RF ICP PECVD
Raman scattering spectroscopy
spectroscopic ellipsometry; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Optimization of radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition process of diamond-like carbon films
Autorzy:: Kijaszek, W.
Oleszkiewicz, W.
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Tematy:: diamond-like carbon
radio frequency inductively coupled plasma enhanced chemical vapour deposition RF ICP PECVD
Raman scattering spectroscopy
spectroscopic ellipsometry; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Informacja