- Tytuł:
- Badanie wpływu dawki implantowanego indu na funkcję dielektryczną w implantowanych warstwach GaAs metodą elipsometrii spektralnej
- Autorzy:
-
Kulik, M.
Rzodkiewicz, W.
Żuk, J.
Komarov, F. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
implantacja jonowa
elipsometria spektralna
współczynniki załamania i ekstynkcji
GaAs
ion implantation
spectroscopic elipsometry
refraction and extinction indices - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł