- Tytuł:
-
Epitaksja odwrotna w technologii otrzymywania krzemowych przyrządów półprzewodnikowych = Reversed epitaxy in the silicon devices technology
Epitaksja odwrotna w technologii otrzymywania krzemowych przyrządów półprzewodnikowych
Materiały Elektroniczne 1978 nr 1(21) - Autorzy:
- Nossarzewska-Orłowska Elżbieta
- Współwytwórcy:
-
Tomaszewski Jerzy
Grudzieński Andrzej - Data publikacji:
- 1978
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
reversed epitaxy
Si
epitaksja odwrotna
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
CVD
Electronic - journal - materials
Elektronika - czasopismo - materiały - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych