- Tytuł:
- Badanie elektrycznych właściwości powierzchni heterostruktur AlGaN/GaN/Si techniką skaningowej mikroskopii pojemnościowej
- Autorzy:
-
Szyszka, A.
Szymański, T.
Tłaczała, M.
Wośko, M.
Paszkiewicz, R. - Data publikacji:
- 2017
- Słowa kluczowe:
-
SCM
skaningowa mikroskopia pojemnościowa
AlGaN/GaN/Si
azotek galu
C-V
scanning capacitance microscopy
gallium nitride - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech