- Tytuł:
- Wydajność nanoszenia cienkich warstw związków metodą reaktywnego impulsowego magnetronowego rozpylania-zjawiska na powierzchni targetu
- Autorzy:
-
Tadaszak, K.
Posadowski, W. M.
Wiatrowski, A. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
reaktywne rozpylanie magnetronowe
emisja elektronów wtórnych
reactive magnetron sputtering
secondary electron emission - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech