- Tytuł:
- System do pomiaru ugięcia belek krzemowych stosowanych w mikroczujnikach
- Autorzy:
- Gołębiowski, J.
- Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
mikro-belki krzemowe
przetworniki optoelektroniczne
silicon microbeam
optoelectronic transducers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech