- Tytuł:
- Model mikrokrzemowego czujnika z cewką planarną do pomiaru indukcji pola magnetycznego
- Autorzy:
-
Prohuń, T.
Rybak, M. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
MEMS
MOEMS
struktury krzemowe
pomiary indukcji magnetycznej
silicon microstructures
magnetic flux density measurements - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech