- Tytuł:
- Charakteryzacja warstw azotku krzemu (SiNx) wytwarzanego metodą PECVD dla zastosowań w przyrządach M(O)EMS
- Autorzy:
-
Szymańska, M.
Mroczyński, R.
Kalisz, M. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
azotek krzemu (SiNx)
PECVD
nanoindentacja
MEMS
silicon nitride (SiNx)
nanoindentation - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech