- Tytuł:
- Technologia i charakteryzacja struktur tranzystorów cienkowarstwowych (TFT)
- Autorzy:
-
Krysiński, A.
Taube, A.
Gołaszewska, K.
Śmietana, M.
Mroczyński, R.
Szmidt, J. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
tlenko-azotek krzemu (SiOxNy)
krzem amorficzny (a-Si)
TFT
PECVD
charakterstyka elektryczna
silicon oxynitride (SiOxNy)
amorphous silicon (a-Si)
electrical characterization - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł