- Tytuł:
- Pomiar grubości membran krzemowych stosowanych w mikroczujnikach
- Autorzy:
-
Gołębiowski, J.
Prohuń, T.
Rybak, M. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
system mikromechaniczny
membrana krzemowa
pomiar optyczny
grubość
micro-electro-mechanical system (MEMS)
silicon membrane
optical measurement
thickness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł