- Tytuł:
- Effect of substrate bias on the microstructure and properties of nanocomposite titanium nitride – based films
- Autorzy:
-
Dudek, M.
Zabeida, O.
Klemberg-Sapieha, J. E.
Martinu, L. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
właściwości mechaniczne
mikrostruktura
wzrost warstwy
twarda warstwa nanokompozytowa
system azotków metali przejściowych
pulsacyjne napylanie magnetronowe
bombardowanie jonami
mechanical properties
microstructure
film growth
hard nanocomposite film
transition metal nitride system
pulsed magnetron sputtering
ion bombardment - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł