- Tytuł:
- Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD
- Autorzy:
-
Kozioł S.
Piątek, M.
Samborski, T. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
komora próżniowa
procesy PVD
uchwyt technologiczny
obrotnik planetarny
vacuum chamber
PVD processes
technological holder
planetary positioner - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech