- Tytuł:
- Ultra-shallow nitrogen plasma implantation for ultra-thin silicon oxynitride (SiOxNy) layer formation
- Współwytwórcy:
-
Kudła, Andrzej
Beck, Romuald B.
Bieniek, Tomasz
Jakubowski, Andrzej - Data publikacji:
- 2005
- Dostawca treści:
- Academica