- Tytuł:
- Precision of silicon oxynitride refractive-index profile retrieval using optical characterization
- Współwytwórcy:
-
Žídek, Karel (fizyk) Autor
Václavík, Jan Autor
Kanclíř, Vít Autor - Data publikacji:
- 2021
- Tematy:
-
Azotki
Współczynnik załamania światła
Związki tlenu
Wiązka jonów
Cienkie warstwy (technika)
Związki krzemu
Fizykochemiczne metody badawcze - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł