Temat: Bosch process - Prolib Integro

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Autorzy:: Góra, K.
Kozłowski, A.
Data publikacji:: 2011
Słowa kluczowe:: proces Boscha
ICP
trawienie plazmowe krzemu
współczynnik kształtu
Bosch process
plasma etching
high aspect ratio
silicon etched profile; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Bosch process for silicon plasma etching
Autorzy:: Góra, K.
Kozłowski, A.
Data publikacji:: 2011
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Tematy:: proces Boscha
ICP
trawienie plazmowe krzemu
współczynnik kształtu
Bosch process
plasma etching
high aspect ratio
silicon etched profile; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu = Bosch process for silicon plasma etching
Zastosowanie procesu Boscha do plazmowego trawienia krzemu
Materiały Elektroniczne 2011 T.39 nr 2
Autorzy:: Góra Krzysztof
Współwytwórcy:: Kozłowski Andrzej
Data publikacji:: 2011
Wydawca:: ITME
Słowa kluczowe:: Bosch process
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
współczynnik kształtu
plasma etching
trawienie plazmowe krzemu
high aspect ratio
Electronic - journal - materials
proces Boscha
Elektronika - czasopismo - materiały
ICP OES; Pokaż więcej
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych

Książka

Szczegóły

Informacja