- Tytuł:
- Postępy nanometrologii układów MEMS/NEMS
- Autorzy:
-
Moczała, M.
Sierakowski, A.
Janus, P.
Grabiec, P.
Leśniewicz, W.
Gotszalk, T. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
nanometrologia
układy MEMS
układy NEMS
nanometrology
MEMS/NEMS devices - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech