- Tytuł:
- Vacuum in microsystems - generation and measurement
- Autorzy:
-
Grzebyk, T.
Stasiak, P.
Górecka-Drzazga, A. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
vacuum MEMS
micropump
vacuum sensor
interference method - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech